千級凈化工程的定義是,微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1k級別。千級潔凈工程主要用于高質(zhì)量光學產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。千級潔凈工程即廠房裝修級別為千級的工程。
空氣潔凈度 | 懸浮粒子最大允許數(shù)(個/?) | 微生物最大允許數(shù) | ||
等級 | ≥0.5um | ≥5um | 浮游菌(cfu/ ?) | 沉降菌(cfu/皿) |
100 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10000 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100000 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300000 | 10500000 | 60000 | — | 15 |
氣流→初效空氣處理→空調(diào)→中效空氣處理→風機送風→凈化管道→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃(細菌) → 回風夾道→新風、初效空氣處理。重復以上過程,即可達到凈化目的。
1、潔凈車間必須維持一定的相對正壓,不同等級的潔凈車間之間的壓強不小于5Pa;潔凈車間與非潔凈車間之間的壓強以不小于10Pa,以防止低級潔凈車間空氣逆流到高級潔凈車間;
2、溫度宜保持18~26℃
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A 級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
1、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
2、新風量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的最大值:
非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
3、送風量大。為了滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量
1、千級凈化車間的建筑通常劃分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中裝配式更為普遍,主要包括由初級、中級、高級空氣過濾器構(gòu)成的空調(diào)送回風系統(tǒng)、排風系統(tǒng)及其他配套系統(tǒng)。
2、千級凈化車間的室內(nèi)空氣參數(shù)設置要求:
?、?溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
?、?新風量:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
③ 送風量:要滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。