光學(xué)微電子潔凈工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物掃除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音震動(dòng)及照明、靜電操控在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別規(guī)劃之密閉空間。

　　光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或潔凈室，現(xiàn)在已是半導(dǎo)體、精密制作、液晶制作、光學(xué)制作、線路板制作和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食物制作等職業(yè)不可或缺的重要設(shè)備，近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新開展，關(guān)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為火急?！?/p>

  　光學(xué)微電子凈化工程一般包含：

　　1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

　　2、 潔凈輔佐間(包含人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

　　3、 辦理區(qū)(包含工作、值班、辦理和休息等)

　　4、 設(shè)備區(qū)(包含凈化空調(diào)體系應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

　　光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

　　氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌

　　等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上進(jìn)程，即可到達(dá)凈化意圖。

　　光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

　　換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa

　　均勻風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬天>16℃;夏季 <26℃;動(dòng)搖±2℃。

　　溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免發(fā)生靜電。

　　噪聲≤65dB(A);新風(fēng)彌補(bǔ)量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

　　光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)資料

　　1. 凈化廠房墻、頂板材一般多選用50mm厚的夾芯彩鋼板制作，其特色為漂亮、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般選用專用氧化鋁型材制作。

　　2.地上可選用環(huán)氧自流坪地坪或高檔耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

　　3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫作用好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

　　4.高效送風(fēng)口用不銹鋼結(jié)構(gòu)，漂亮清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

　　光學(xué)微電子凈化工程解決計(jì)劃:

　　凈化工程的規(guī)劃進(jìn)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計(jì)劃剖析了解,依據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其詳細(xì)的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需求的潔凈度、溫濕度。再依據(jù)該工程的詳細(xì)情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，歸納各種因素來確定選用何種凈化計(jì)劃，這樣才可規(guī)劃出一個(gè)能滿意甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的計(jì)劃。

　　1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口

　　這是一個(gè)最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)體系的規(guī)劃計(jì)劃。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功用段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中心段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。

　　長處：

　　A.空氣處理作用好，因空氣通過會(huì)集處理，在送風(fēng)進(jìn)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的操控比較準(zhǔn)確;

　　B.比較適用于有會(huì)集冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)體系合用或獨(dú)立冷熱源;

　　D.修理頻率較低;

　　E.車間的噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需求有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。關(guān)于舊廠房改造項(xiàng)目來說比較困難空出一個(gè)20-30m的機(jī)房的;

　　B.造價(jià)高。

　　特色：

　　A.主張新風(fēng)通過會(huì)集處理后再與回風(fēng)混合，這樣能夠減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);

　　C.這類計(jì)劃一般能夠適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。

　　2、光學(xué)微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計(jì)劃剖析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

　　與前種計(jì)劃比較，這是相對(duì)比較簡單的空調(diào)計(jì)劃。它能夠大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)能夠依據(jù)詳細(xì)的情況安置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也能夠安置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

　　長處：

　　A.空氣處理作用較好的，處理往后的空氣在送風(fēng)進(jìn)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度操控作用能夠到達(dá)較好的操控。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行操控;

　　B.安置靈敏。自帶冷源;

　　C.巨細(xì)廠房、新舊廠房都適用;

　　D.修理頻率較低;

　　E.車間噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求小面積的機(jī)房。需求有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要會(huì)集安置;

　　C.造價(jià)較低。特色：這種計(jì)劃能夠是一次回風(fēng)也能夠是二次回風(fēng)，詳細(xì)依據(jù)車間的巨細(xì)情況而定;這類計(jì)劃一般能夠適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。

　　3、光學(xué)微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計(jì)劃剖析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口

　　這是最簡易的一個(gè)空調(diào)計(jì)劃。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)安置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻安置于吊頂天花。這個(gè)計(jì)劃適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　長處：

　　A.不需求占用機(jī)房面積，安置很靈敏的;

　　B.能夠滿意空氣的潔凈度;

　　C.造價(jià)最低。如此類無塵車間初出資約需求40萬;

　　D.送風(fēng)均勻度好。

　　缺陷：

　　A.溫濕度操控較差;

　　B.能夠滿意空氣的潔凈度;

　　C.FFU的修理頻率高。

　　4、光學(xué)微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計(jì)劃剖析之無塵車間的特色

　　A、無塵車間的潔凈度:

　　LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

　　在本規(guī)劃里是指結(jié)尾工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬級(jí)或十萬級(jí)。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、拼裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級(jí)或十萬級(jí)。

　　B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：

　　(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。

　　(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅(jiān)持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。

　　(3)送風(fēng)量大。為了滿意潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級(jí)，送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級(jí)，送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

　　光學(xué)微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計(jì)劃剖析關(guān)于慣例電子廠房潔凈室空調(diào)的規(guī)劃，應(yīng)依據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)規(guī)劃計(jì)劃，以滿意生產(chǎn)工藝的要求作為條件。依據(jù)以往經(jīng)歷，關(guān)于要求高的能夠選用組合式空氣處理機(jī)組會(huì)集處理的空調(diào)計(jì)劃;關(guān)于要求不高的，又要初出資低的，能夠選用柜機(jī)+FFU?？倸w，詳細(xì)的計(jì)劃選擇依據(jù)詳細(xì)情況而定。